晶圓清洗機 JHPBT-650

嘉鴻牌清洗機

延伸閱讀

選型、驗收與現場案例，這幾篇說得比規格表清楚。

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晶圓與精密光電元件對清洗方式要求嚴苛——既要徹底去除粉塵與雜質，又不能造成任何表面損傷。晶圓清洗機 JHPBT-650 採真空吸附式清洗盤固定晶圓（支援 4~12 吋），以擺臂旋轉清洗技術搭配二流體噴射確保無盲角清潔，高速離心脫水（轉速 100~2000 R/Min 可調）快速去水，全流程參數可程式化設定，安全光柵自動門保障操作安全，適用於半導體封裝、光學鏡頭製造、CMOS 模組等高階製程。

產品規格

項目	規格
機器尺寸	700mm(L) × 650mm(W) × 1100mm(H)
清洗尺寸	4 ~ 12 吋晶圓清洗吸盤（可選配）
清洗機構	真空吸附 + 擺臂旋轉 + 二流體清洗
離心轉速	100 ~ 2000 R/Min（可調）
安全防護	安全光柵自動門，即時在線監控