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無塵廠不鏽鋼搬運台車選型指南:SUS304 vs 316L、ESD 輪、CL100/1000 等級對照
無塵廠為何不能用烤漆鐵推車?SUS304 跟 316L 怎麼選?ESD 防靜電輪要不要加?CL100 vs CL1000 對搬運車要求差在哪?一篇看完。
SUS304 標配不鏽鋼級別 | 10⁶-10⁹ Ω ESD 輪表面電阻 | 100-300 kg 常見承重範圍 | CL100-10000 適用無塵等級 |
新車推進無塵區被警衛擋下、輪子卡頭髮拖動時摩擦地坪掉屑、烤漆 SUS304 字樣下竟是噴漆鐵車、推車摩擦地板讓晶圓粒子計數爆掉⋯這些都是真實案例。
無塵廠搬運車不是「不鏽鋼就好」 — 材質等級(304 vs 316L)、ESD 防靜電、輪軸密閉、表面處理全部要符合無塵等級規範。本文 4 個維度說清楚。
▲ 從區域反推材質、層數與輪子配置
一為何無塵廠堅持不鏽鋼,不用烤漆鐵車
| 材質 | 發塵風險 | 抗腐蝕 | 可消毒 | 無塵廠可進 |
|---|---|---|---|---|
| 烤漆鐵車 | 高(塗料剝落) | 差 | 不可(化學品傷漆) | 禁止 |
| 塑膠 PE/PP | 中(靜電吸塵) | 中 | 可 | 輕負載可 |
| SUS304 | 極低 | 佳 | 可(IPA、酒精、雙氧水) | 標配 |
| SUS316L | 極低 | 極佳(耐 HF、強酸) | 可 | 化學區專用 |
實務原則:新竹科學園區 12 吋 Fab 的搬運車 90% 以上是 SUS304,化學區 / HF 蒸氣區用 316L。塑膠車多見於實驗室 / 食品 / 醫療場所(一般情況,仍需視個案而定)。
二SUS304 vs 316L 怎麼選
| 材質 | 主要合金 | 耐酸 | 價格 | 典型應用 |
|---|---|---|---|---|
| SUS304 | 18% Cr + 8% Ni | 稀酸鹼、IPA、酒精 | 基準 | SMT、EMS、一般 Fab |
| SUS316 | + 2% Mo | HF 蒸氣、海水 | ×1.3-1.5 | 濕製程、化學區 |
| SUS316L(低碳) | + 2-3% Mo、C ≤ 0.03% | 同 316,焊後耐腐蝕更佳 | ×1.4-1.6 | 製藥、食品、醫療 |
選錯材質的代價:HF 蒸氣區用 304 不鏽鋼 3-6 個月就會出現孔蝕(pitting),表面坑洞反而成為粉塵窩。化學區堅持用 316L 是合理投資(一般情況,仍需視個案而定)。
三4 種典型應用情境
1. 半導體 Fab 跨機台 FOUP / FOSB / Cassette 跨機台搬運。最嚴標準:專車不出區、進區雙擦、ESD 輪、密閉輪軸。 建議:SUS304、雙層、ESD PU 輪、煞車 | 2. SMT 物料 / 治具備料 料盤、Reel、治具、Stencil 鋼板搬運。上層分隔多格放小物,下層放周轉箱。 建議:SUS304、雙層零件車、ESD 輪、煞車 |
3. 化學區 / 濕製程 HF 蒸氣、KOH、強酸區域搬運化學品瓶罐、wafer cassette。 建議:SUS316L、雙層、ESD 輪、密閉輪軸 | 4. 實驗室 / 食品 / 醫療 檢測樣品、玻璃器皿、藥品周轉箱搬運。表面拉絲處理易擦拭消毒。 建議:SUS304(一般)/ 316L(食品醫療)、雙/三層、食品級 PU 輪 |
四選型流程與保養 Tips
使用區域 無塵 / 化學 / 食品 | → | 無塵等級 CL100 / 1000 / 10000 | → | 材質 304 / 316L | → | 層數 雙 / 三 / 零件車 | → | 輪子 ESD / 食品級 |
1. 每班次擦拭台面:半導體區用 IPA 70%,一般區用濕抹布。輪子縫隙每週深度清潔(容易卡粉塵與毛髮)。
2. 輪軸潤滑用乾性:無塵區用 PFPE 潤滑劑(不揮發、不發塵);一般區用 silicone。不可用一般機油(會吸塵且揮發污染)。
3. 不鏽鋼刮傷處理:可用拋光膏研磨;鏡面車建議用專用拋光劑保養。化學區若曾接觸強酸需立即沖洗中和避免孔蝕。
4. 進區前 IPA 雙擦 + Air Shower:新車或跨區回來的車必須完整清潔流程後才能進無塵區,否則一台髒車進去等於把全廠潔淨度搞砸。
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※ 本文所述材質等級、ESD 規格、無塵等級對照、保養週期為不鏽鋼搬運台車一般工業參考值,實際選型須依無塵廠規範、化學品接觸、搬運項目與廠牌型錄而定(一般情況,仍需視個案而定)。
※ 嘉鴻關係企業(Jiahon Group)為 B2B MRO 經銷商,含無塵廠搬運設備全系列。
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