Bruker 原子力顯微鏡 AFM 探針 OTESPA-R4 / RTESPA-150
輕敲模式形貌表徵用矽探針,四面體尖端 7nm 解析度,適用高分子、金屬、半導體、陶瓷等多種樣品類型。
產品概述
Bruker 是全球原子力顯微鏡(AFM)探針的領導品牌,同時具備 AFM 設備與探針的製造能力,從設計、晶圓加工到品管全程於 Class 100 無塵室完成,確保探針尖端的一致性與重複性。
本頁提供兩款 Bruker 輕敲模式(Tapping Mode)矽探針:OTESPA-R4 與 RTESPA-150,分別對應不同的共振頻率與彈簧常數,涵蓋從硬質樣品到軟性高分子的形貌掃描需求。
圖:兩款探針核心參數對照,依樣品硬度選擇適合型號
型號規格對照表
| 參數 | OTESPA-R4 | RTESPA-150 |
|---|---|---|
| 共振頻率(Nominal) | 300 kHz | 150 kHz |
| 彈簧常數(Nominal) | 26 N/m | 5 N/m |
| 懸臂長度 | 160 µm | 125 µm |
| 懸臂寬度 | 40 µm | 35 µm |
| 懸臂厚度 | 3.7 µm | 3.8 µm |
| 尖端半徑 | 7 nm | 8 nm |
| 尖端類型 | Tetrahedral Visible Apex | Rotated Tip |
| 材質 | 0.01–0.02 Ω·cm 矽(Sb 摻雜 n-type) | 0.01–0.025 Ω·cm 矽(Sb 摻雜 n-type) |
| 正面鍍層 | 無 | 無 |
| 背面鍍層 | 鋁反射鍍層 | 鋁反射鍍層 |
| 主要用途 | 通用形貌掃描(TappingMode) | 軟性樣品、PeakForce QNM |
如何選擇?依樣品硬度決定
OTESPA-R4 的 26 N/m 彈簧常數與 300 kHz 共振頻率,是業界標準的通用輕敲模式探針,適用高分子薄膜、金屬表面、半導體晶圓、陶瓷材料等大多數樣品。四面體尖端(Visible Apex)位於懸臂正末端,搭配光學顯微鏡定位時可直接對準目標區域,省去反覆調整的時間。
RTESPA-150 的 5 N/m 較低彈簧常數搭配 150 kHz 頻率,專為軟性高分子、生物薄膜等易形變樣品設計,減少尖端對表面的施力,降低掃描破壞風險。同時也是 PeakForce QNM 奈米力學量測的常用搭配。
選型提醒:
若實驗室同時處理硬質與軟性樣品,建議兩款各備一盒,可涵蓋絕大多數輕敲模式應用場景。OTESPA-R4 為 OTESPA-R3 的升級替代型號。
Bruker 探針製造優勢
| 製程環境 | Class 100 無塵室,全程控制微汙染 |
|---|---|
| 設計整合 | 探針設計團隊與 AFM 設備研發團隊協同,確保探針與儀器最佳匹配 |
| 品管標準 | 每批次進行奈米級尺寸與力學特性抽檢,保障批次間一致性 |
| 尖端技術 | 四面體蝕刻成型,尖端曲率半徑控制在 7–8 nm,即使鍍鋁後仍維持 <10 nm |
| 相容性 | 未安裝型(Unmounted),適用所有品牌 AFM 設備 |
採購說明:
本商品為 Bruker 原廠探針,每盒標準包裝。歡迎科研實驗室、半導體廠、材料分析中心來電或線上詢價,嘉鴻提供報價與技術諮詢服務。






