CKD 微流量感測器 FSM-H-N-100ML-6A
RAPIFLOW 系列小型氣體流量感測器，量測範圍 5–100 mL/min，NPN 雙點開關＋類比輸出，不鏽鋼本體 Rc1/8 接口。
產品概述
CKD RAPIFLOW FSM-H 系列是專為微小氣體流量監測設計的感測器，廣泛應用於 SMT 貼片機吸嘴吸附確認、氣體洩漏檢測、空壓系統耗氣監控等場景。內建白金感測晶片，採用矽微機械加工技術，發熱量極低、靈敏度高，可在微小流量變化中提供穩定的開關與類比輸出信號。
FSM-H-N-100ML-6A 的量測範圍為 5–100 mL/min，配備 NPN 雙點開關輸出與 1 組類比輸出，本體採不鏽鋼（SUS316 相當）材質，接口規格 Rc1/8，適合直接安裝於現有氣路管路。正面 LCD 數位顯示幕可即時讀取流量值，並支援零點校正、峰值記錄等操作功能。
圖：型號各段代碼對應的規格意義，選購時可依需求調整流量範圍與輸出方式
主要規格
| 型號 | FSM-H-N-100ML-6A |
|---|---|
| 量測範圍 | 5–100 mL/min |
| 適用流體 | 空氣、氮氣 |
| 開關輸出 | NPN 雙點（CH1 / CH2，最大 50 mA） |
| 類比輸出 | 1–5 V（1 組） |
| 電源 | DC 24V |
| 接口規格 | Rc1/8（管牙內螺紋） |
| 本體材質 | 不鏽鋼（SUS316 相當） |
| 顯示方式 | LCD 數位顯示（一體式） |
| 感測原理 | 白金熱膜式（矽微機械加工） |
| 重量 | 約 40 g |
典型應用場景
SMT 吸嘴吸附確認：貼片機取料時，透過監測真空吸嘴管路中的微小氣體流量變化，判斷電子元件是否被成功吸附。流量值超出設定閾值即觸發開關輸出，通知 PLC 進行異常處理。
氣體洩漏檢測：在密封容器充氣後，以 FSM-H 監測管路殘餘流量。若流量持續不歸零，表示存在洩漏點，適用於氣密測試工站。
空壓耗氣監控：安裝於設備氣源入口，長期記錄各工站的空壓消耗量，作為預防保養與節能分析的依據。
選型提醒：
FSM-H 系列提供四種流量範圍（005ML / 010ML / 050ML / 100ML），選購時依實際管路流量決定。輸出方式可選 N（NPN）、P（PNP）或 A（純類比）。接口除 Rc1/8（6A）外，另有 G1/8（6G）可選。
內建操作功能
| 零點校正 | 無流量狀態下補償顯示偏差，確保量測基線準確 |
|---|---|
| 峰值 / 谷值記錄 | 記錄設定區間內的最大與最小流量值，檢查瞬間流量變化 |
| 開關模式設定 | 4 種運作模式可選，搭配 ON/OFF 兩組設定值，靈活配置觸發邏輯 |
| 測試輸出 | 強制開關 ON，確認接線正確性與輸入裝置初始動作 |
| 遲滯量 | 自動附加 1% F.S.，避免臨界值附近頻繁跳動 |
採購說明：
本商品為 CKD 原裝微流量感測器，適用於所有需要微小氣體流量監測的自動化產線。歡迎工廠設備部門、自動化系統整合商來電或線上詢價。
