本型號目前已售完，如需替代型號，請洽詢嘉鴻，由工程部依您的量程與接頭規格協助確認。

MKS 626B Baratron 真空壓力感測器｜半導體製程真空量測怎麼選？

半導體與面板廠的 CVD、PVD、蝕刻腔體氣體組成時刻在變，真空量測要不受氣體種類影響。MKS Baratron 626B 為電容式真空壓力計，量的是膜片受力，626B01TDE 為 Full Scale 1 Torr、0–10 VDC 輸出、NW16-KF 接口的常溫型。本型號目前已售完，可依量程與接頭由工程部協助確認替代型號。

延伸閱讀

選型、驗收與產線案例，這幾篇說得比規格表清楚。

壓力感測器怎麼選：壓力型式與量程、精度與穩定度、輸出與連接、介質與安裝的 4 個階段

MKS Instruments Baratron 626B 系列電容式真空壓力計，半導體與面板製程的標配真空量測元件。一篇搞懂 626 / 627 / 628 系列差異、型號命名邏輯與選型重點。

量測原理不受氣體種類影響：MKS 626B01TDE 是 Baratron® 電容式壓力計（Capacitance Manometer），量測原理不受氣體種類影響，是半導體製程真空控制的業界標配。626B 系列量測範圍涵蓋 0.1 Torr 到 1000 Torr，輸出 0–10V 類比訊號直接對接製程控制器。選型核心：① Full Scale 量程、② 加熱溫度、③ 接口法蘭。型號現況：本頁 MKS 626B 目前缺貨，可否供貨請向嘉鴻詢價確認。本文依 MKS 製造商資料：626C 資料表已標示 DISCONTINUED（停產）；現行同類常溫型為 626D（0.1–1000 Torr、0–10 VDC、15-pin D-sub）。626B 與 626D 能否直接替換，請提供完整型號與設備機台名稱，由嘉鴻向製造商確認。

為什麼半導體製程用電容式壓力計？

真空量測有很多種原理（熱傳導式、離子式、電容式），但半導體製程幾乎只用電容式。原因很簡單：電容式壓力計量的是「真正的壓力」（力的作用），不受氣體種類和成分影響。CVD、PVD、蝕刻等製程腔體內的氣體組成時刻在變，只有電容式能在不同製程氣氛下給出一致的讀數。

▲ 626 是常溫型，627 加熱到 45°C、628 加熱到 100°C；三個系列的量程互相重疊，差別主要在加熱溫度

626 / 627 / 628 系列怎麼分？

系列	量程範圍（Torr）	典型應用	加熱選項
626B	0.1 –1000（0.1、0.25、1、2、10、20、100、500、1000）	CVD/PVD 腔體壓力控制、Load Lock	常溫（不加熱）
627	0.02–25,000（現行 627H）	高真空製程、蝕刻腔、離子佈植	45°C 加熱
628	0.05–25,000（現行 628H）	需要 100°C 加熱防凝結的製程	100°C 加熱

型號命名邏輯 以 626B01TDE 為例（MKS 型號編碼）：626B（系列與版本）01T（Full Scale 1 Torr）D（真空接口 NW16-KF）E（精度 ±0.25% of Reading）。626 系列都是常溫型，型號裡沒有加熱代碼；採購時關鍵是確認 Full Scale 與真空接口。

626B01TDE 主要規格

項目	規格
量測原理	電容式（Capacitance Manometer）
Full Scale	1 Torr（01 = 1 Torr）
量測範圍	Full Scale 1 Torr
精度	±0.25% of Reading（典型）
輸出訊號	0 – 10 VDC（類比）
加熱溫度	不加熱（常溫型）
接頭型式	D-sub 15 pin
真空接口	NW16-KF（型號中的 D；8 VCR 母頭是 B）
電源	±15 VDC
對應氣體	非腐蝕性氣體（N₂、Ar、He 等）

加熱型 vs 常溫型：什麼場景需要加熱？

Baratron 的加熱功能是為了避免製程氣體在感測膜片上凝結。當腔體內有水氣或其他可凝結氣體時，凝結物會改變膜片位移量，導致讀數偏移。

類型	系列	溫度	使用場景
常溫型	626	無加熱	惰性氣體環境、無凝結風險
45°C 加熱	627	45°C	一般 CVD/PVD，輕微水氣環境
100°C 加熱	628	100°C	ALD、高水氣製程
200°C 加熱	631	200°C	腐蝕性前驅物、高溫製程

常見替換情境 Baratron 屬於消耗性量測元件，使用一定時間後膜片疲勞會導致零點漂移。半導體廠通常依 PM 週期定期更換。替換時需注意：① Full Scale 必須一致 ② 加熱型號不可混用 ③ 法蘭接口需確認（VCR vs KF vs CF）。

選型速查

步驟	確認事項	對應選擇
① 量程	製程工作壓力落在哪個範圍？	依工作壓力選 Full Scale（626／627／628 的量程互相重疊）
② Full Scale	工作壓力的 Full Scale？	選讓工作壓力落在 FS 的 10%–90% 的型號
③ 加熱	有可凝結氣體嗎？	有 → 627（45°C）或 628（100°C）；無 → 626（常溫）
④ 接口	設備端法蘭規格？	VCR / KF25 / CF（依設備端確認）