SMC LVA30-03-C1 藥液閥——半導體製程的藥液控制為什麼要用專用閥？
LVA 系列高純度藥液閥專為腐蝕性化學液體設計：PFA 本體抗蝕、PTFE 膜片防微氣泡、導引環防內漏——半導體與面板廠濕製程的標準配備。
為什麼一般氣動閥不能用於藥液管路？
半導體濕製程使用的化學液體（如 HF、H2SO4、H2O2、IPA 等）具有強腐蝕性，一般金屬或橡膠材質的閥體會被腐蝕產生微粒汙染。LVA 系列採用全 PFA（全氟烷氧基）或 PPS 本體，搭配 PTFE 膜片，接液部位完全耐化學腐蝕。獨特的導引環設計消除活塞桿橫向位移，大幅延長密封壽命並減少微粒釋出。
LVA30-03-C1 規格速覽
| 型號 | LVA30-03-C1 |
|---|---|
| 系列 | SMC LVA 高純度藥液閥 |
| 作動方式 | 氣動式（Air Operated） |
| 常態 | 常閉型（Normally Closed） |
| 接口口徑 | Rc 3/8″（螺紋型） |
| 本體材質 | C1 = 新型 PFA（全氟烷氧基樹脂） |
| 操作壓力 | 0.3 ～ 0.5 MPa（先導空氣） |
| 流體溫度 | 0 ～ 100°C |
| 流量調整 | 附帶手輪調整流量（膜片行程控制） |
| 膜片材質 | PTFE（防微氣泡設計） |
LVA 本體材質代碼速查
| 代碼 | 本體材質 | 適用藥液 |
|---|---|---|
| A / A1 | SUS（不鏽鋼） | 中性、弱酸鹼溶液 |
| B | PPS（聚苯硫醚） | 中等腐蝕性藥液 |
| C / C1 | PFA（全氟烷氧基） | 強酸鹼（HF、H2SO4）（本品） |
半導體製程關鍵特性：
PTFE 膜片的緩啟閉設計可防止管路中產生微氣泡，避免化學液體供應不穩。導引環結構消除密封件橫向位移，減少微粒生成——這兩項特性對晶圓級潔淨度至關重要。
選型提醒：
C1 為新型 PFA 材質，耐蝕性優於舊版 C 型。LVA 系列提供單體型與歧管型兩種安裝方式，多點控制可選歧管型減少配管。此為一般情況，仍需視個案而定。
需要報價或確認規格？歡迎洽詢
