這頁把無塵室與防靜電（ESD）最常被問到的數字放在一起：ISO 14644-1 九個等級的微粒上限、ISO 與舊制 FED-STD-209E 的對照，以及 ANSI/ESD S20.20 的人員接地與環境限值。最常用的兩個數字是：ISO 7（舊稱 Class 10,000）每立方公尺 ≥0.5 µm 微粒上限 352,000 顆；S20.20 要求腕帶系統對地電阻 <3.5×10⁷ Ω、人員行走電壓 <100 V。
重點數字速覽
| 數字 | 代表什麼 | 出處簡稱 |
|---|---|---|
| 3,520 顆/m³ | ISO 5（Class 100）≥0.5 µm 微粒上限 | ISO 14644-1（經 Engineering ToolBox、FDA） |
| 352,000 顆/m³ | ISO 7（Class 10,000）≥0.5 µm 微粒上限 | 同上 |
| 3,520,000 顆/m³ | ISO 8（Class 100,000）≥0.5 µm 微粒上限 | 同上 |
| 2001 年 11 月 | FED-STD-209E 正式廢止，由 ISO 14644-1／-2 取代 | GSA 廢止公告（EverySpec） |
| ≥20 次/小時 | ISO 8 支援區一般可接受的換氣次數 | FDA 無菌製程指引 2004 |
| <30%／>60% RH | 低於 30% 易有靜電問題；高於 60% 易結露 | Defence Science Journal 2003 |
| <3.5×10⁷ Ω | 腕帶系統（人手到地）電阻上限 | ANSI/ESD S20.20-2014 |
| <1.0×10⁹ Ω | 人員—鞋—地板系統電阻上限 | ANSI/ESD S20.20-2014 |
| <100 V | 人員行走時的人體電壓峰值上限 | ANSI/ESD S20.20-2014 |
| 35 V | 防護區內孤立導體電壓上限 | ANSI/ESD S20.20-2014 |
| 125 V/in | 製程必要絕緣體距元件 1 吋內的電場上限 | ANSI/ESD S20.20-2014 |
| HBM 100 V／CDM 200 V | 標準適用的元件耐受電壓下限 | S20.20、IEC 61340-5-1:2024 |
| 12% ±3% RH | ESD 產品資格驗證的低濕測試條件 | ESDA 2021 標準更新說明 |
| 35,000 V vs 1,500 V | 地毯上行走：低濕（10–25% RH）vs 高濕（65–90% RH） | ESDA Fundamentals Part 1 |
| 8～33% | 靜電造成產品損失的「業界常引用估計」（無原始研究） | ESDA 舊網站（經 Desco 轉引） |
ISO 14644-1 每個等級每立方公尺可以有多少微粒？
單位：每立方公尺空氣中，大於等於該粒徑的微粒數上限。空白代表該等級在該粒徑不設上限。
| ISO 等級 | ≥0.1 µm | ≥0.2 µm | ≥0.3 µm | ≥0.5 µm | ≥1 µm | ≥5 µm |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ISO 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
實務解讀：等級每差一級，上限差 10 倍。電子組裝與 SMT 廠最常談的是 ISO 7、ISO 8，看的是 ≥0.5 µm 這一欄。注意上表為 1999 年版的完整表；2015 年 12 月出版的第二版刪除了部分小等級或大粒徑的格位（例如 ISO 5 的 5 µm 欄改用其他方式表示），簽約或驗證時請以客戶指定的版本為準。
ISO 等級和舊制 Class 100、Class 10,000 怎麼對？
| ISO 14644-1 | 舊制 FED-STD-209E | ≥0.5 µm 上限（顆/m³） |
|---|---|---|
| ISO 3 | Class 1 | 35 |
| ISO 4 | Class 10 | 352 |
| ISO 5 | Class 100 | 3,520 |
| ISO 6 | Class 1,000 | 35,200 |
| ISO 7 | Class 10,000 | 352,000 |
| ISO 8 | Class 100,000 | 3,520,000 |
| ISO 9 | （約一般室內空氣） | 35,200,000 |
實務解讀：舊制 Class 的數字是「每立方英尺 ≥0.5 µm 微粒數」，ISO 用每立方公尺，所以 Class 100 ≈ ISO 5。FED-STD-209E 已在 2001 年 11 月由美國 GSA 公告廢止，由 ISO 14644-1（分級）與 ISO 14644-2（監測）取代；現場很多人仍習慣講 Class，採購規格書建議寫 ISO 等級並括號附舊稱。ISO 5～8 的對照另見 FDA 2004 無菌製程指引表 1。
無塵室一小時要換氣幾次？
| 區域 | 換氣次數 | 出處 |
|---|---|---|
| ISO 8（Class 100,000）支援區 | 至少 20 次/小時，一般可接受 | FDA 2004 |
| ISO 7、ISO 5（Class 10,000、Class 100） | 「通常需要明顯更高」，FDA 未給具體數字 | FDA 2004 |
實務解讀：ISO 14644-1 本身只規定微粒上限，不規定換氣次數；換氣量是設計手段，要看人員數、製程發塵量與氣流型式。上面這個數字出自製藥無菌製程指引，電子廠可當下限參考，ISO 7 以上請以空調設計與實測微粒為準。
無塵室溫濕度要控制在多少？
| 項目 | 數字 | 出處 |
|---|---|---|
| 相對濕度過低 | <30% RH 可能引發靜電問題 | Defence Science Journal 2003 |
| 相對濕度過高 | >60% RH 可能在表面結露 | 同上 |
| 溫度 | 依製程與人員舒適度設定，無統一數值 | 同上；ISO 14644-1 不規定 |
實務解讀：ISO 14644-1 與 FDA 指引都沒有給統一的溫濕度設定值，只要求依製程控制。對電子廠來說，濕度太低會讓靜電電壓明顯升高（見下方 ESDA 表），所以冬季或除濕過頭時要特別注意 ESD 管制。
ANSI/ESD S20.20 的關鍵限值是多少？
| 項目 | 限值 | 備註 |
|---|---|---|
| 腕帶系統（人手到地） | <3.5×10⁷ Ω | 1 MΩ 限流電阻的腕帶可符合 |
| 人員—鞋—地板系統電阻 | <1.0×10⁹ Ω | 依 ANSI/ESD STM97.1 量測 |
| 人員行走人體電壓 | <100 V（峰值） | 依 ANSI/ESD STM97.2；2014 版起電阻與行走測試須同時符合 |
| 工作檯面點對點電阻 | 0～<1.0×10⁹ Ω | 公司若放寬到 10¹⁰ Ω 須寫剪裁說明 |
| 地板分類（STM7.1 定義） | 導電 <1.0×10⁶ Ω；耗散 1.0×10⁶～<1.0×10⁹ Ω | 定義用，不是驗收限值 |
| 孤立導體 | ≤35 V | 依離子風扇允許的偏移電壓訂定 |
| 製程必要絕緣體（2014 版） | 距元件 1 吋（2.5 cm）內電場 ≤125 V/in | 2007 版為 12 吋（30 cm）內 ≤2,000 V/in |
| 適用元件敏感度 | HBM ≥100 V、CDM 200 V | 更敏感的元件需加嚴管制 |
實務解讀：採購腕帶、防靜電鞋、地板時，供應商報告要能對到上表的量測方法（STM97.1／97.2）。2021 版（S20.20-2021）的主要改動是：新增導體、絕緣體、孤立導體等定義；產品資格驗證允許用廠內最低濕度；孤立導體改量對地電壓；絕緣體新增量測選項；移除已撤銷的 STM4.2 檯面測法；新增包裝與美國國防部相關章節。
IEC 61340-5-1 和 S20.20 有什麼不同？
| 項目 | IEC 61340-5-1:2024（第 3 版） | ANSI/ESD S20.20 |
|---|---|---|
| 出版 | 2024-05-21，IEC TC 101 | 2014 版、2021 版，ESDA |
| 適用元件 | HBM ≥100 V、CDM ≥200 V | HBM ≥100 V、CDM 200 V |
| 孤立導體 | <35 V | ≤35 V |
| 絕緣體電場 | 5,000 V/m（約 127 V/in） | 125 V/in（1 吋內） |
| 稽核測試方法 | 引用 IEC 61340-5-4 | 引用 ESD TR53 |
實務解讀：兩份標準的適用範圍與主要門檻幾乎一致，ESDA 也說明 125 V/in 是從 IEC 的 5,000 V/m 換算而來。客戶是歐系或要求 IEC 認證時寫 IEC 61340-5-1，美系客戶多寫 S20.20；耗材規格通常兩邊都能對應。
濕度高低，靜電電壓差多少？
| 動作 | 10～25% RH | 65～90% RH |
|---|---|---|
| 在地毯上行走 | 35,000 V | 1,500 V |
| 在塑膠（PVC）地磚上行走 | 12,000 V | 250 V |
| 工作人員在工作台 | 6,000 V | 100 V |
| 從工作台拿起 PE 袋 | 20,000 V | 1,200 V |
| 坐泡棉（PU）椅 | 18,000 V | 1,500 V |
實務解讀：同樣的動作，乾燥環境的靜電電壓可以高出十幾到幾十倍；但即使高濕環境，工作台上的人仍有約 100 V，剛好碰到 S20.20 的行走電壓門檻，所以不能只靠加濕。ESD 產品資格驗證要求在 12% ±3% RH、23 ±3 °C 的低濕條件下做，就是為了確保最乾的季節也有效。
靜電造成多少損失？市場有多大？
- 8～33%：業界常引用「靜電造成的平均產品損失介於 8～33%」，這個說法出自 ESDA 舊網站、被業者廣泛轉引，沒有可查的原始研究，只能當參考印象，不能當統計。ESDA 現行入門文件只說損壞元件的成本從幾分錢的二極體到上千美元的 IC 都有。
- 無塵室技術市場：Global Market Insights（2026 年 8 月商業報告）估 2025 年約 59 億美元，2035 年約 119 億美元，年複合成長率 7.3%。
- ESD 包裝市場：Market Glass（2025 年 7 月商業報告，經 GII 刊載）估 2024 年約 47 億美元，2030 年約 70 億美元，年複合成長率 7.0%。
以上市場數字為商業研究機構估計，不同機構差異很大，僅供參考。
嘉鴻出貨觀察
資料：嘉鴻 2024 年 11 月～2026 年 10 月兩個完整年度的出貨紀錄，只代表嘉鴻客群（以台灣電子製造業為主），不是全台產業統計。每季更新。
無塵服尺寸怎麼抓？（93 家客戶，依件數）
| 款式 | S | M | L | XL | 2XL | 3XL | 4XL | 5XL |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 大衣（長袍式） | 4% | 17% | 19% | 18% | 21% | 15% | 3% | 2% |
| 夾克／分身式 | 1% | 11% | 25% | 20% | 18% | 11% | 8% | 7% |
| 連身式 | 1% | 15% | 23% | 21% | 10% | 15% | 11% | 5% |
| 全部 | 2% | 14% | 22% | 19% | 19% | 13% | 6% | 5% |
解讀：
- L、XL、2XL 三個尺寸合計約 6 成，2XL 以上約 4 成。
- 無塵服多半套在工作服外面，選尺寸常比平常衣服大 1～2 號。
- 夾克和連身式要活動，4XL～5XL 的比例比大衣高。
- 第一次備貨可以照「全部」那列分配，S 少量備就好。
無塵鞋尺碼怎麼抓？（66 家客戶，依雙數）
| 尺碼（cm） | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 占比 | 2% | 8% | 17% | 22% | 16% | 18% | 11% | 5% | 2% |
解讀：24～27 cm 合計約 7 成，是主力。28 cm 以上約 2 成，23 cm 以下約 1 成。半號（例如 25.5）併入整數號計算。
一套無塵著裝通常怎麼配？
在嘉鴻買無塵服的客戶，每 100 件無塵服大約搭配 100 頂無塵帽或網帽、33 雙無塵鞋。帽子幾乎一人一頂；鞋子較少，因為不少現場改用鞋套或沿用原有的防靜電鞋。新建無塵室時，可以把「無塵服＋帽＋鞋（或鞋套）＋黏塵墊」當成一套來規劃。
無塵耗材多久補一次貨？
| 品類 | 一般客戶的補貨間隔（中位數） | 一半客戶落在 |
|---|---|---|
| 無塵服 | 約 55 天 | 21～103 天 |
| 無塵紙、無塵布 | 約 60 天 | 28～137 天 |
| 指套 | 約 48 天 | 27～109 天 |
| 鞋套 | 約 96 天 | 42～141 天 |
解讀：無塵耗材大約 1.5～2 個月補一次，鞋套約 3 個月。備庫存時，抓 2 個月用量加安全庫存，通常不會斷貨。
無塵布用哪個尺寸？
嘉鴻的無塵布訂單中，9 吋占約 95%，6 吋約 4%。9 吋是電子廠擦拭鋼板、治具最常用的規格。
無塵耗材和防靜電用品什麼時候訂單最多？
- 無塵服、無塵鞋帽：四季平均（24%～27%）。3 月、6 月、8 月略多（月份指數 1.16～1.19，1.00＝平常），5 月最少（0.78）。
- 無塵紙、無塵布：四季各約 25%，幾乎沒有季節性。
- 防靜電用品（桌墊、手環、靜電簾等）：第 3 季最多，占全年 31%。9 月指數 1.42，11 月最少（0.64），常配合下半年新線建置或稽核前補齊。
（各品類完整表見 產業數據中心）
常見問題
Q1：ISO 7 和 Class 10,000 是一樣的嗎？
在 ≥0.5 µm 這個粒徑上是對應的，上限都約為每立方公尺 352,000 顆（每立方英尺 10,000 顆）。舊制 FED-STD-209E 已在 2001 年廢止，新規格書建議寫 ISO 7。
Q2：腕帶電阻多少才算合格？
S20.20 要求人手經腕帶到地的系統電阻小於 3.5×10⁷ Ω。一般腕帶內建 1 MΩ 限流電阻，正常配戴就能落在範圍內，重點是每天上工前要測。
Q3：穿了防靜電鞋就不用戴腕帶嗎？
坐姿作業通常仍需腕帶。站立或走動作業若用鞋＋地板接地，必須同時符合系統電阻 <1.0×10⁹ Ω 與行走電壓 <100 V 兩項，單看電阻不夠。
Q4：把濕度調高，是不是就不用做防靜電？
不是。ESDA 資料顯示 65～90% RH 下，工作台上的人仍有約 100 V，PE 袋也有 1,200 V；而且濕度高於 60% 又有結露風險。濕度控制只能降低風險，接地與材料管制仍必須做。
Q5：「靜電損失 8～33%」可以拿來寫報告嗎？
可以引用，但要寫明是「業界常引用的估計」，目前找不到原始研究出處。正式評估建議用自家的 ESD 不良率與退貨資料。
站內延伸閱讀
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參考資料
- Engineering ToolBox，〈Clean Rooms – ISO Standard 14644〉（ISO 14644-1 等級表轉列）。https://engineeringtoolbox.com/clean-rooms-iso-d_933.html
- U.S. FDA，Guidance for Industry: Sterile Drug Products Produced by Aseptic Processing – cGMP，2004 年 9 月（表 1 ISO／Class 對照、換氣次數）。https://www.fda.gov/media/71026/download
- U.S. GSA，FED-STD-209E Notice 1（廢止公告），2001-11（EverySpec 收錄）。https://everyspec.com/FED-STD/FED-STD-209E_NOTICE-1_21741/
- Production Automation Corp.，〈ISO 14644-1 Cleanroom Classifications〉（ISO 3～9 與 Class 1～100,000 對照，業者頁面）。https://gotopac.com/art-cr-iso-cleanroom-classifications
- PharmOut，〈What does the recent ISO 14644-1:2015 update mean…〉（2015 年版出版時間與改版重點）。https://www.pharmout.net/iso-14644-1-2015-update-cleanroom-classification/
- Kapoor, J.C. & Gupta, M.，〈Elements of Clean-room Technology and Contamination Control〉，Defence Science Journal Vol.53 No.3，2003（濕度 <30%／>60%）。https://publications.drdo.gov.in/ojs/index.php/dsj/article/download/2273/1230
- EOS/ESD Association，〈Update to ANSI/ESD S20.20-2014〉（腕帶、鞋地板、行走電壓、孤立導體、絕緣體、HBM/CDM、檯面）。https://esda.org/assets/News/Update-to-ANSI-ESD-S2020-2014-FINAL.pdf
- In Compliance Magazine，〈ANSI/ESD S20.20-2014: A Review of the Technical Revisions to the 2014 Edition〉。https://incompliancemag.com/ansiesd-s20-20-2014-a-review-of-the-technical-revisions-to-the-2014-edition/
- EOS/ESD Association，〈What’s New in ESD Control Standards〉（S20.20-2021 改動、12% ±3% RH、STM7.1 地板定義）。https://www.esda.org/news/whats-new-in-esd-control-standards
- SAI Global，〈Significant changes from ANSI/ESD S20.20-2014 to ANSI/ESD S20.20-2021〉。https://saiglobal.cn/wp-content/uploads/2022/06/Significant%20changes%20from%20ANSIESD%20S20.20%20-%202014%20to%20ANSIESD%20S20.20%20-%202021.pdf
- ESDA 論壇，〈Isolated Conductors in S20.20〉（35 V 由來、125 V/in 與 IEC 5,000 V/m 換算、12 吋原則）。https://forum.esda.org/t/isolated-conductors-in-s20-20/67
- ESDA 論壇，〈Human Body Resistance for EPA〉（1 MΩ 腕帶符合 3.5×10⁷ Ω）。https://forum.esda.org/t/human-body-resistance-for-epa/572
- IEC，IEC 61340-5-1:2024 摘要頁（第 3 版、2024-05-21、HBM 100 V／CDM 200 V／孤立導體 35 V、IEC 61340-5-4）。https://webstore.iec.ch/publication/74748
- EOS/ESD Association，Fundamentals of Electrostatic Discharge Part One – An Introduction to ESD，2020（表 1 濕度與靜電電壓）。https://www.esda.org/esd-overview/esd-fundamentals/part-1-an-introduction-to-esd/
- Desco Industries，Q&A（轉引 ESDA 舊網站「8～33%」估計）。https://desco.descoindustries.com/QuestionsAndAnswers/ShowQuestion.aspx?i=1264
- Global Market Insights，〈Cleanroom Technology Market〉，2026 年 8 月（商業報告）。https://www.gminsights.com/industry-analysis/cleanroom-technology-market
- Market Glass, Inc.（經 GII 刊載），〈Electrostatic Discharge (ESD) Packaging〉，2025-07-07（商業報告）。https://www.giiresearch.com/report/go1763191-electrostatic-discharge-esd-packaging.html