MKS 626B Baratron 真空壓力傳感器｜半導體製程電容式壓力計

MKS 626B Baratron 真空壓力傳感器｜半導體製程真空量測怎麼選？

MKS Instruments Baratron 626B 系列電容式真空壓力計，半導體與面板製程的標配真空量測元件。一篇搞懂 626 / 627 / 628 系列差異、型號命名邏輯與選型重點。

結論先講：MKS 626B01TDE 是 Baratron® 電容式壓力計（Capacitance Manometer），量測原理不受氣體種類影響，是半導體製程真空控制的業界標配。626B 系列量測範圍涵蓋 0.1 Torr 到 1000 Torr，輸出 0–10V 類比訊號直接對接製程控制器。選型核心：① Full Scale 量程、② 加熱溫度、③ 接口法蘭。

為什麼半導體製程用電容式壓力計？

真空量測有很多種原理（熱傳導式、離子式、電容式），但半導體製程幾乎只用電容式。原因很簡單：電容式壓力計量的是「真正的壓力」（力的作用），不受氣體種類和成分影響。CVD、PVD、蝕刻等製程腔體內的氣體組成時刻在變，只有電容式能在不同製程氣氛下給出一致的讀數。

示意圖

▲ 626B 覆蓋中真空段，627 系列往高真空延伸，628 系列往大氣壓以上延伸

626 / 627 / 628 系列怎麼分？

系列	量程範圍（Torr）	典型應用	加熱選項
626B	0.1 / 1 / 10 / 100 / 1000	CVD/PVD 腔體壓力控制、Load Lock	常溫 / 45°C 加熱
627B / 627D	0.001 / 0.01 / 0.1 / 1 / 10	高真空製程、蝕刻腔、離子佈植	45°C / 100°C / 200°C 加熱
628B	100 / 1000 / 25000	大氣壓附近量測、氣體輸送管路	常溫 / 加熱

型號命名邏輯
以 626B01TDE 為例：626（系列）B（版本）01（Full Scale 代碼，01 = 1 Torr）T（加熱型，常溫為 U）D（D-sub 接頭）E（配件選項）。採購時最重要的是確認 Full Scale 代碼與加熱選項。

626B01TDE 主要規格

項目	規格
量測原理	電容式（Capacitance Manometer）
Full Scale	1 Torr（01 = 1 Torr）
量測範圍	0.001 – 1.000 Torr
精度	±0.25% of Reading（典型）
輸出訊號	0 – 10 VDC（類比）
加熱溫度	45°C（T 型）
接頭型式	D-sub 15 pin
真空接口	VCR / KF / CF（依訂購選項）
電源	±15 VDC
適用氣體	非腐蝕性氣體（N₂、Ar、He 等）

加熱型 vs 常溫型：什麼場景需要加熱？

Baratron 的加熱功能是為了避免製程氣體在感測膜片上凝結。當腔體內有水氣或其他可凝結氣體時，凝結物會改變膜片位移量，導致讀數偏移。

類型	代碼	溫度	適用場景
常溫型	U	無加熱	惰性氣體環境、無凝結風險
45°C 加熱	T	45°C	一般 CVD/PVD，輕微水氣環境
100°C 加熱	（627D 系列）	100°C	ALD、高水氣製程
200°C 加熱	（627D 系列）	200°C	腐蝕性前驅物、高溫製程

常見替換情境
Baratron 屬於消耗性量測元件，使用一定時間後膜片疲勞會導致零點漂移。半導體廠通常依 PM 週期定期更換。替換時需注意：① Full Scale 必須一致 ② 加熱型號不可混用 ③ 法蘭接口需確認（VCR vs KF vs CF）。

選型速查

步驟	確認事項	對應選擇
① 量程	製程工作壓力落在哪個範圍？	中真空 → 626B；高真空 → 627B/D；近大氣 → 628B
② Full Scale	工作壓力的 Full Scale？	選讓工作壓力落在 FS 的 10%–90% 的型號
③ 加熱	有可凝結氣體嗎？	有 → T（加熱）；無 → U（常溫）
④ 接口	設備端法蘭規格？	VCR / KF25 / CF（依設備端確認）