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Q&A: 數位顯微鏡的誤差及校驗問題

數位顯微鏡之整體操作及量測邏輯如下:

  1. 人員調整焦距後, 找出確切待量測物
  2. 人員以滑鼠點選待測物之起始點及終點, (其間的水平亦會影響長度)
  3. 此時電腦知道這段長度佔整個畫面中的畫素為多少pixel
  4. 出廠前已校驗1 pixel=多少mm; 電腦經過返算, 於螢幕回報量測值

檢視上面整體動作
校正僅為原始告知電腦1 pixel=多少mm => 如人員無特別進入此頁面, 其數值是不需重新校驗的 (為一定值)

整體量測誤差再於

  1. 個人焦距不同: 以元件為例;元件有一定厚度, 所以每個人認為的edge不同 (焦距不同, edge也不同)
  2. 個人點滑鼠時, 每個人點的起始點及終點也不同
  3. 依照對量測方式GRR來看, 有兩個問題
    1. 設備重複性問題及
    2. 人員重複性問題
  4. 此設備人員重複性的問題是明顯大於設備重複性問題的

故此, 此設備之量測值, 基本上是以能提供一個數據值為主 (也就是, 當我們說defect有多大, 無法給個數值)

  • 但這設備並非拿來做精準量測
  • 如同下圖之電子秤, 我們這邊想表達的意思大約為如此 (非供交易使用);但實際上, 電子秤使用時, 人員重複性的問題還比這個小得多了。

總結:
上述提及的問題, 在一般電子廠的作法為:

  • 利用較具知名度的游標卡尺(如三豐), 放置鏡頭下方, 做平常的量測
    檢視後如無顯著差異, 則無問題。
  • 如有顯著落差, 則可利用校正塑膠片或玻璃塊進行重新校正
    影片操作

[videopress 8q4JaztH]

 

From JH工程部

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