VETUS SA系列晶圓夾子
可換碳纖頭設計,2~12吋晶圓全覆蓋,防靜電不鏽鋼手柄
採可換碳纖頭(CFV)設計,單一不鏽鋼手柄(HRC≥40°)可搭配 20 款以上夾頭,有效降低耗材成本。靜電阻值 1×10⁶Ω,防止 ESD 損傷。尾部雷射焊接+防滑溝槽,配戴手套操作依然穩固,適用半導體、光電、MEMS 等高潔淨製造環境。
完整型號規格表(含手柄)
| 型號 | 尺寸(長×寬) | 靜電值 | 適用對象 |
|---|---|---|---|
| [email protected] | 130 × 8.8 mm | 1×10⁶Ω | 2 吋晶圓片 |
| [email protected] | 128 × 8.6 mm | 1×10⁶Ω | 3 吋晶圓片 |
| [email protected] | 130 × 12 mm | 1×10⁶Ω | 4 吋晶圓片 |
| [email protected] | 130 × 19 mm | 1×10⁶Ω | 6 吋晶圓片 |
| [email protected] | 118.5 × 40 mm | 1×10⁶Ω | 8 吋晶圓片 |
| [email protected] | 129 × 60 mm | 1×10⁶Ω | 12 吋晶圓片 |
| A258CFV.SA | 130 × 8.8 mm | 1×10⁶Ω | 扁平工件 |
| A2ABCFV.SA | 130 × 13.3 mm | 1×10⁶Ω | SMD / 細小零件 |
可換鑷頭型號(單獨更換耗材)
| 夾頭型號 | 靜電值 | 適用對象 |
|---|---|---|
| A2WCFV | 10⁴~10⁶Ω | 2 吋晶圓 |
| A3WCFV | 10⁴~10⁶Ω | 3 吋晶圓 |
| A4WCFV | 10⁴~10⁶Ω | 4 吋晶圓 |
| A6WCFV | 10⁴~10⁶Ω | 6 吋晶圓 |
| A8WLCFV | 10⁴~10⁶Ω | 8 吋晶圓 |
| A12WLCFV | 10⁴~10⁶Ω | 10~12 吋晶圓 |
| A2ABCFV | 10⁴~10⁶Ω | 夾取扁平元件 |
| A258CFV | 10⁴~10⁶Ω | 小型元件 |
四大設計優勢
| 特點 | 說明 |
|---|---|
| 可換碳纖頭 | 單一手柄搭配 20+ 款夾頭,只需更換夾頭即可對應不同晶圓尺寸,耗材成本大幅降低 |
| 防靜電安全 | 靜電阻值 1×10⁶Ω,有效防止 ESD 損傷晶圓與高敏感元件 |
| 人體工學手柄 | 尾部雷射焊接+表面特殊塗層,適中彈力、舒適握感,長時間操作不疲勞 |
| 防滑溝槽 | 配戴無塵手套操作依然穩固,夾持不偏移,提升良率與操作安全性 |
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商品詳圖









































