在線式電漿清洗機 JHPBT-390
嘉鴻牌清洗機
台灣研發設計 ｜ 中國精益製造
傳承台灣精密製程經驗，結合在地化生產優勢。嘉鴻堅持高標準品質控管，為客戶提供高性能、高穩定性、高 CP 值的清洗解決方案。
相機模組與晶圓在點膠、打線、貼合之前，表面要先清乾淨、活化，濕式清洗之後的微小髒污與殘留，用電漿處理最直接。JHPBT-390 在線式電漿清洗機由輸送軌道、讀碼組件、電漿清洗組件與緩存模組組成，自動上料後讀取載板條碼、進行電漿清洗，再自動下料或進入緩存。
可與客戶的上下工站連線生產，也能單機自動上下料。機架與外殼採雙面鏡面 SUS304 鈑金，符合 Class 100 潔淨車間的要求；產能 60 UPH 以上，處理溫度低於 45 ℃。
| > 60 UPH產能 | < 45 ℃處理溫度 | ≥ 1 μm可清除顆粒（99.6% 以上） | 950±50 mm對接軌道高度 |
適用範圍
- 各類相機模組的精密清洗
- 晶圓片的精密清洗
- 需要與前後工站連線的自動化生產
作業流程
進料口自動上料 → 載板讀碼 → 電漿清洗 → 出料口自動下料／緩存。
技術規格
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 型號 | JHPBT-390 |
| 設備尺寸 | 700 mm（L）× 700 mm（W）× 1620 mm（H） |
| 對接軌道高度 | 950 ± 50 mm |
| 產能 | > 60 UPH |
| 最大清洗工件尺寸 | 長 150～260 mm × 寬 48～77 mm |
| 設備材料 | 整機 304 雙面鏡面不鏽鋼 |
| 清洗方式 | 電漿清洗 |
| 可清除顆粒最小直徑 | ≥ 1 μm，99.6% 以上 |
| 處理速度 | 20 mm/s（視被處理物表面而定） |
| 處理高度 | 2～10 mm |
| 處理溫度 | < 45 ℃ |
| 潔淨壓縮空氣供給壓力 | 0.45～0.7 MPa |
| 潔淨壓縮空氣潔淨度 | 過濾 0.01 μm／99.9% 以上的超潔淨壓縮空氣，殘留油 < 0.01 ppm |
| 潔淨壓縮空氣最大耗量 | 清洗時 < 0.5 L/min |
| 氮氣供給壓力 | 0.45～0.7 MPa |
| 氮氣純度 | > 99.99% |
| 氮氣最大耗量 | 清洗時 < 25 L/min |
| 送風排氣容量 | 3.0 m³/min |
| 控制方式 | PLC ＋ 觸控螢幕 |
| 電源 | AC 380 V／60 Hz／2.5 kW |
| 設備重量 | 約 450 kg |
電源依台灣 380 V／60 Hz 規格配置；其他電壓與頻率可依需求調整，請洽詢。
設備特點
連線或單機，兩種用法 可與上下工站連線生產，也能由本機自動上下料單獨生產。
載板讀碼、預留 MES 讀碼組件預留 MES 系統對接，載板可追溯。
適用潔淨車間 雙面鏡面 SUS304 鈑金機架與外殼，滿足 Class 100 車間要求。
操作高度合適 操作高度 950 mm，腳杯可調整 950 ± 50 mm，方便與前後設備對接。
怎麼挑
- 相機模組、晶圓要連線電漿清洗：選 JHPBT-390，自動上下料、載板讀碼。
- 要真空腔體、對接前後線體處理 COB、BGA 基材：看真空電漿清洗機 JHPBT-590。
- PCB、FPC、陶瓷、塑膠的表面活化與粗化，單機箱式作業：看真空電漿清洗機 JHPBT-290（箱式）。
- 電漿之前先做濕式清洗：看離心清洗機 JHPBT-550。
延伸閱讀
電漿之前的濕式清洗與用水，這幾篇說得比規格表清楚。
