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白光結構光厚度與形變量測|載具翹曲、板翹與錫膏厚度的非接觸檢測

嘉鴻白光結構光厚度與形變測定儀(文字封面圖)

在 SMT 與 EMS 現場,載具(Carrier/Fixture)的平整度是最容易被忽略、又最難量的變因。它不平,錫膏厚度分布就不均、元件置放的 Z 軸就偏,結果是空焊、立碑與產品翹曲。這篇說明白光結構光量測的原理、系統組成、實測驗證數據,以及它與國際翹曲標準之間真正的對應關係。

一、傳統量法的問題

  • 目測:無法量化,判定隨人而異,也留不下可追溯的紀錄。
  • 接觸式量測(如分厘卡):只能量點或線,覆蓋率僅 5% 到 10%。載具的翹曲通常是連續曲面,抽幾個點量不到中央凸起或四角翹曲的真實幅度。
  • 兩者都難以建立統一、可追溯的檢測標準——這才是真正的痛點:不是量不到,是量了也無法跨批次、跨人員比較。

二、結構光怎麼量出高度

結構光是一種主動式光學三維量測技術。作法是用可控光源(例如 DLP 投影器)把已知的數學圖案——光學條紋——投射到待測物表面。當表面有高度變化時,這些條紋在相機視角下會產生對應的形變;透過幾何三角測量法分析條紋的形變程度,就能反推出表面的三維深度資訊。

兩種條紋演算法一起用

方法作法解決什麼
格雷碼條紋法(Gray Code)投射二進位灰碼條紋能明確辨識每一條紋的絕對序號,避免因反光或遮擋造成的相位跳躍錯誤
相位移條紋法(Phase-shifting)投射多張(通常 3 至 9 張)具有微小相位偏移的條紋影像,解算相位差取得高解析度的連續深度資訊

此外系統採用「多頻條紋融合」策略,結合高頻與低頻條紋,解決相位摺疊(2π ambiguity)問題,讓大範圍高低落差的物體也能精確還原三維形貌。

這兩種演算法是互補的,不是二選一:格雷碼負責「這是第幾條紋」(絕對定位,但解析度粗),相位移負責「在這條紋裡的哪個位置」(解析度細,但單獨使用時無法分辨是第幾條)。只用其中一種,不是精度不足就是會在反光處跳階。

三、為什麼用白光

光源優勢限制
白光成本低、光譜寬、與一般工業相機相容性高對高反光表面較敏感
藍光單色性佳、抗環境雜散光能力強成本較高
紅光投影銳利,適合高精度點掃描需考慮雷射安全防護

選白光的四個理由:對 SMT 現場常見的錫膏、PCB 綠漆等表面,白光提供最均勻的反射特性;光譜與標準 CMOS 相機的感光範圍匹配,不需特殊感光元件;成本顯著低於藍光 DLP 模組;而本系統所需的精度約 ±25 μm 至 ±50 μm,白光技術已能完全滿足。

最後一點是選型邏輯的關鍵:精度需求決定技術選擇,不是精度越高越好。如果需求是 ±25 μm,選了能做到 ±5 μm 但成本高數倍的方案,多付的錢買不到對應的品質改善。先把「要量到多細」定義清楚,再選技術。

四、系統組成與穩定性

模組功能核心硬體
白光投影模組投射結構光條紋TI DLP2010 DMD + 白光 LED
雙工業相機模組擷取變形條紋影像1 MP CMOS × 2,GigE 介面
控制電腦投影同步、影像運算與重建Intel i7 CPU + GPU 加速
精密光機支架固定與標定定位鋁合金陽極處理框架 + XYZ 微調
軟體系統控制、重建、顯示、報告自主開發 GUI 與分析演算法

支架採「鋁合金主支架 + 工業鋁擠型副結構」的複合設計,並加裝矽膠避震墊抑制高頻震動。經 4 小時穩定性測試,熱漂移控制在 ±5 μm 以內。

光機支架的剛性與熱穩定性,往往比相機或投影器的規格更能決定實際精度。系統精度是 ±25 μm,而支架 4 小時的熱漂移是 ±5 μm——熱漂移佔了誤差預算的五分之一。驗收這類設備時一定要問熱漂移數據,而且要問量測時長。只量 10 分鐘的熱漂移數字沒有意義,產線是連續運轉的。

五、演算法流程與顏色判讀

從取像到視覺化結果,整個流程在 1 秒內完成,共七步:

  • 投影與取像:投影器高速投射條紋,雙相機以硬體觸發同步取像。
  • 相位解碼:結合格雷碼與相位移演算法解算出相位圖。
  • 三維重建:以三角測量法把相位圖轉換為每像素的高度圖(Z-map)。
  • 平面擬合與去傾斜:以最小平方法自動尋找基準面並校正為零平面,消除因放置傾斜帶來的誤差。
  • 顏色閾值分類:依預設或自訂的公差範圍,把高度數據映射為顏色。
  • 噪聲濾波:區域權重濾波,平滑邊緣、抑制雜點。
  • 結果顯示與報告輸出:即時顯示 2D/3D 顏色圖,一鍵生成統計報告。
第四步「去傾斜」最容易被低估。若沒有自動找基準面,量到的高度差會混入「物件沒放平」造成的傾斜量——一個完全平整的載具只要放歪了,量出來就會像單邊翹曲。有沒有做平面擬合,決定了量測結果能不能跨次比較。

顏色分級(範例)

層級高度範圍顏色代表意義
正常範圍−50 μm 至 +50 μm綠色平整或在允收公差內
輕微偏差+50 μm 至 +100 μm黃色輕度形變,需注意
嚴重偏差超過 ±100 μm紅色超出容差,建議報廢或維修

色階對應的公差可依產品類型(SMT 載具、PCB 板等)自動調整或手動設定。

六、三項實測驗證

實驗條件結果
載具翹曲量測已知最大變形 +0.21 mm 的載具測得峰值 +0.208 mm,誤差在 0.01 mm 以內;連續 10 次量測的重複性標準差 σ = 11 μm
PCB 板翹檢測100 mm × 160 mm 的 PCB精確呈現中心 0.13 mm 的翹曲分布,誤差範圍 ±0.03 mm;檢出速度較人工量測提升超過 8 倍
錫膏厚度檢測0.12 mm 厚網板印刷後的錫膏量得平均厚度 0.109 mm,左右 PAD 高度差異小於 10 μm
第三項的數字值得多看一眼:網板厚度 0.12 mm,印出來的錫膏平均高度 0.109 mm,約為網板厚度的 91%。這是正常的——錫膏脫模後會輕微塌陷,開口的脫模率本來就不是 100%。若量到的比值明顯偏低,該檢討的是開口面積比與脫模,不是懷疑量測儀器。真正要看的是「左右 PAD 高度差小於 10 μm」,它反映的是刮刀壓力與網板貼合的均勻度。

七、與傳統抽樣檢測的比較

評估項目傳統抽樣法本系統差異
平整度覆蓋率5 至 10%(點或線抽樣)100% 全面覆蓋超過 10 倍
單件檢測時間3 至 5 分鐘約 1 秒見下方說明
檢測誤差±0.10 mm±0.025 mm4 倍精度
操作依賴度高(依賴經驗)低(自動化判定)可標準化
檢測時間那一列,原始資料標示的改善幅度是「縮短 95%」,但實際算起來遠不止:3 分鐘是 180 秒、5 分鐘是 300 秒,降到約 1 秒,縮短幅度超過 99%。原文的 95% 明顯低估了自己的數字。引用時請直接用前後時間(180–300 秒 → 約 1 秒),比百分比清楚也不會被質疑。

覆蓋率那一項是這套方法真正的價值所在。接觸式量測只能取點,而載具的翹曲是連續曲面——抽樣量測有可能剛好避開最大變形處,量出「合格」的結果。全面覆蓋改變的不是精度,是會不會漏掉。

八、對應的國際標準(以及一個重要的界線)

標準標準名稱對應方式
IPC-7095EDesign and Assembly Process Guidance for Ball Grid Arrays (BGAs)(BGA 設計與組裝製程指引)—
這裡有一個必須講清楚的界線,否則技術稽核時會被問倒:JEITA ED-7306 與 JEDEC JESD22-B112 都是「高溫」封裝翹曲量測標準——它們的核心是在模擬回焊的升溫過程中量測翹曲隨溫度的變化。本系統目前在常溫下量測,而且兩份標準的對象是 IC 封裝本體、不是載具,本系統的數據只能對照參考,不能宣稱符合這兩份標準。若客戶要求的是依 JESD22-B112 做高溫翹曲特性分析,常溫系統無法取代。

順帶更正一處名稱:JEDEC JESD22-B112 規範的是封裝層級(package level)的翹曲量測,不是板層級(board level)。引用時用正確名稱,稽核時比較站得住。

原始技術文件的未來開發方向中,也列出了「高溫版本(150 °C 環境下量測,用於分析迴焊過程中的動態翹曲變化)」——正好對應上述界線。其餘規劃包含以深度學習模型自動辨識形變類型(中央凸出、四角翹曲)並判斷可修復或需報廢、結合輸送帶的全自動線上版本,以及融合 ToF 感測器補償高反光區域以提升鏡面與拋光金屬的量測精度。

常見問題

結構光量測和 AOI 有什麼不同?

AOI 主要判斷「有沒有、對不對位、外觀有無缺陷」,多為二維或有限的三維資訊;結構光量測輸出的是每個像素的高度值(Z-map),回答的是「高低差多少」。兩者目的不同:AOI 抓缺件、偏移、極性錯誤,結構光量翹曲、平整度與厚度分布。

為什麼要同時用格雷碼和相位移兩種演算法?

兩者互補。格雷碼負責判斷「這是第幾條紋」,提供絕對定位但解析度較粗;相位移負責判斷「在這條紋內的哪個位置」,解析度細但單獨使用時無法分辨條紋序號。只用其中一種,不是精度不足就是會在反光處發生相位跳躍。系統另外用多頻條紋融合解決相位摺疊(2π ambiguity)問題。

白光、藍光、紅光該選哪一種?

看精度需求與被測物表面。白光成本低、光譜寬、與一般工業相機相容性高,對錫膏與 PCB 綠漆的反射特性均勻,缺點是對高反光表面較敏感;藍光單色性佳、抗環境雜散光強但成本較高;紅光投影銳利、適合高精度點掃描但需考慮雷射安全防護。關鍵是先定義要量到多細——本系統需求為 ±25 至 ±50 μm,白光即可滿足。精度不是越高越好,超出需求的精度買不到對應的品質改善。

量測前為什麼要做平面擬合與去傾斜?

因為物件放歪了會被誤判成翹曲。系統以最小平方法自動找出基準面並校正為零平面,把「放置傾斜」這個變因扣掉。沒有這一步,一片完全平整的載具只要放斜就會量出單邊翹曲的結果,而且每次擺放角度不同、數據就無法跨次比較。

錫膏量到 0.109 mm,比網板的 0.12 mm 薄,是印刷有問題嗎?

不是。錫膏脫模後會輕微塌陷,加上開口的脫模率本來就不是 100%,量到約為網板厚度九成左右是正常的。真正該看的是同一片板上各 PAD 之間的高度一致性——本案左右 PAD 高度差小於 10 μm,反映刮刀壓力與網板貼合良好。若整體比值明顯偏低,該檢討的是開口面積比與脫模條件。

這套系統可以拿來做 JEDEC JESD22-B112 的高溫翹曲試驗嗎?

目前不行。JESD22-B112 與 JEITA ED-7306 都是高溫封裝翹曲量測標準,核心是量測翹曲隨溫度的變化。常溫系統無法執行標準的完整試驗,而且這兩份標準的對象是 IC 封裝、不是載具,數據只能對照參考。若客戶要求的是高溫翹曲特性分析,需要具備控溫能力的機型。

重複性標準差 11 μm 代表什麼?

代表同一個物件連續量 10 次,結果的離散程度。這個數字比「精度 ±25 μm」更貼近日常使用——精度講的是與真值的接近程度,重複性講的是每次量會不會得到一樣的答案。做製程管制時,重複性不足的儀器會讓管制圖上出現不存在的變異。

驗收這類設備該問什麼?

建議至少問四項:一是熱漂移數據以及量測時長(只量 10 分鐘的數字沒有意義,產線是連續運轉的);二是重複性標準差,不要只看精度標稱值;三是量測是否包含自動平面擬合去傾斜;四是若需對應高溫翹曲標準,確認機型是否具備控溫能力。

From:嘉鴻工程部

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